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在線監測系統，既避免了人工巡檢的人為因素對潔凈室環境的干擾，也滿足獲得連續生產數據的要求。
ESKY-VOCs主要由傳感器陳列模塊、多路采樣器、控制柜以及在線軟件監控系統4個部分組成。設備通過多路采樣器配套的大泵完成遠距離抽樣，之后再通過微型小泵進行傳感器精準送樣，實現精準采樣量以及過濾控制；利用專利高效能微氣相色譜諧技術（GC），可實現定制化VOC分離效能。 采用復合傳感器組合，實現做低VOC檢測限（＜ppb）；部署帶有RAID1磁盤陣列保護服務器，實現豐富的圖表數據展示。
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